芯片之难,难在哪里?看ASML如何逆风翻盘
中国核心供应商超43%!苹果动摇了?要求美国为芯片制造减税
据IT之家10月22日援引最新报道,美国媒体曝出,美国科技巨头苹果在今年第二、第三季度的游说披露报告中提出,希望美国财政及其他相关部门能为回到美国本土生产芯片的制造商提供税收减免。分析指出,这表明苹果或在考虑将旗下iPhone手机的部分生产线转移到美国
本文作者:徐竞然
芯片是什么?
一颗小小的硅片上布满了排列整齐的集成电路,阳光下,像一种五彩斑斓的昆虫。
但正是这种“昆虫”实实在在地控制着科技时代的纷纭万物:手机、电脑、家居电器、汽车机械、能救命的高科技医疗器械、飞机火箭,乃至无数军工产品,都离不开芯片。
举个例子,站在街头环顾一圈,能载客行驶的交通工具,人们兜里揣的、包里装的、耳朵上别着的智能小玩意,街头闪烁的广告屏、红绿灯……全仰仗芯片存储信息、发号施令。没有芯片,虽不至于回到原始社会,但足以打乱人类正常的生产生活。
可以这么说,“芯片”成就了现代社会登上科技之巅。
但自然,高处不胜寒。
这个夏天,“芯片之困”成了必须直面的问题。
芯片之难 难于光刻机
不过处在“芯片之困”的阴霾下,就意味着和芯片相关的事,我们都干不了吗?非也。
若干年来,依赖无数人才的奋力追赶,中国的芯片设计和制作工艺,发展得并不慢。芯片之难,实则难于芯片制造。巧妇难为无米之炊,造不出高级芯片,再顶尖的设计技术也无处施展。也正是此,让华为领先全球的麒麟系列芯片或成绝版,让华为消费者业务CEO余承东连呼遗憾。
而芯片制造,“光刻机”是绕不开的终极神器。可以说,没有光刻机就没有芯片,所谓的芯片之痛,真正的痛点就是光刻机。这个长久以来的隐于幕后的大boss最近热度颇高,中国科协近日发布的“10个工程技术难题”,光刻机技术名列其中。坊间更是传闻华为大力挖掘光刻机工程师,要自建光刻机。
光刻机,讲原理并不难。
通俗易懂地说,就是高级版“投影仪+照相机”:光刻机有光源,光源发光,然后通过一个带图形的光罩,给上附有光刻胶的硅片曝光,借助光刻胶感光后的性质变化,光罩上的图形就可以被印到硅片上,于是硅片就有了电子线路图般的作用。
但听起来简单,制造光刻机有多难?
有人形容光刻机“是集合了数学、光学、流体力学、高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器、机械、自动化、软件、图像识别领域顶尖技术的产物”。还有人赋予其一个极美的称呼,“半导体行业皇冠上的明珠”。皇冠上最大最中心的明珠,仅此一颗,也说明了光刻机在芯片制造中无可争议的地位。
因为精度之高,光刻之“刻”靠普通刀子自然实现不了,于是要以“光”为刀进行雕刻,目前的精度7nm,相当于把病毒大卸八块,把一根头发丝劈成几万份。
有资料显示,1台光刻机包含13个分系统,3万个机械件,200多个传感器。其中,光源产生极紫外光EUV的难度相当于在飓风中心,以每秒5万次的频率用乒乓球击中同一只苍蝇两次;冷却激光器,每秒需要能填满6个浴缸那么多的水;光刻机的分辨率,则相当于把48万个单词的《指环王》在同一张纸上印刷2625遍;每一步都难度颇大,但制作一颗芯片大概需要3000道工序,要想保证光刻机完美运转,每一步的成功率都要高于99.99%。
还有工程师说:“光刻机的一个小零件,工程师就需要调整高达十年之久,尺寸的调整就要高达百万次以上。”坊间传言,就算给出图纸,别人也造不出来一说正源于此。
随着工艺越发高精尖,依靠着独一无二的售后服务,光刻机设备商的话语权越发提升。
而目前,掌握全球领先光刻技术的正是荷兰 ASML公司。
在盛产风车、郁金香,风景如画的荷兰,静静卧着一头“猛兽”——凭一己之力就吞掉了光刻机全球市场份额近80%的ASML,精度在7nm 及以下的光刻机,只有他能生产。
名为“光刻机”,实则“印钞机”,每生产一台就可售1.2亿美元。
但每年生产力有限,只能生产20余台,物以稀“更贵”。每出厂一台,都被全球芯片制造商虎视眈眈,谁“抢”得到最新的光刻机,就意味着谁更有可能造出更高端芯片,掌握科技时代命脉。
但屹立科技之巅的ASML公司究竟是如何炼成的?
成立于1984年的ASML,在一个看起来连蛋糕渣都没有的尴尬时机入局,彼时光刻机领域老牌大佬GCA还宝刀未老,尼康佳能双雄又强势崛起,然而坐落于飞利浦大厦外垃圾桶旁,一排简易厂房的ASML 携47名员工入局,并许下壮志“只做第一”。
今天的成功让那时的决心显得分外慷慨勇敢,但可以想象的是,那时,大家都认为它疯了。
36年间,从几近破产的小公司到行业内当之无愧的一哥,这不是一个顺风顺水人人都爱他的杰克苏叙事史,也不全是一个苦心孤诣苦哈哈的逆袭之路。天才与智慧,偏执与勇敢,机遇与奋斗……ASML不缺故事。
机缘巧合 巨头炼成
即使身负绝世之功,ASML却习惯低调。但因为经历太过传奇,不必传扬,江湖上也飘荡着他的传说。
源远流长的第一段是他与台积电鬼才林本坚的惺惺相惜。
上世纪90年代,整个半导体行业都陷入了一个共同的难题,光刻机光源波长被卡死在193nm。
光刻画不出更精致的线条,自然就造不出更精细的,性能更强的芯片。
面对难题,虽然实践成功率低、回报率也低,但老巨头尼康等厂商依然采用传统解题方法,强行将光源缩短到157nm波长。
另一边,一个年轻人提出了创新想法,为什么非要改变波长?时任台积电研发副经理的林本坚想出了浸没式光刻法:在镜头和光刻胶之间加一层水,经过水的折射,天堑一跃而过,光线波长可以由193nm变为132nm。
但当他拿着新型创意前往巨头大厂毛遂自荐时,得到的却全是拒绝。甚至尼康、佳能、IBM等所有巨头要联合起来封杀冷藏林本坚。原因可以想象,面对一堵门,有人扛来长枪短炮重型武器轰炸不止时,另一个人却建议,找找钥匙开门,虽然成功的路上,独辟蹊径往往意味着降维打击,但巨人转身慢,巨人怕成本。而同样在光刻机难题中挣扎求存的ASML如同大海中的一叶小舟,体量较小,但却可以灵活转向,全力冲刺,同是满腔壮志无处可酬,ASML向林本坚伸出了手——选择浸润式技术,不仅意味着台积电的订单和深厚的友谊,还意味着一场豪赌,一条少有人走的创新之路。
命运总是嘉奖勇敢者。
2004年,ASML全力赶出了第一台浸润式光刻机样机,波长132nm,力压尼康的157nm。
2007年,在原有光源与镜头的条件下,ASML又显著提升蚀刻精度,继而拿到60%的光刻机市场份额,首次超过尼康。
如果传奇的第一篇章彰显了技术突破与创新魄力的重要,而接下来,ASML在EUV光刻上的赫赫战果,更说明合纵连横,合作共赢的战略意义。
ASML最先进的EUV光刻机,涉及上游5000多家供应商,3万多个零部件90%需要进口,想要浇灌出这株盛放在荷兰的技术之花,既需要德国的光学设备与超精密仪器,也需要美国的计量设备与光源……
对高科技密集的半导体行业来说,自己爬山不太现实,想要赢者通吃,就要伴随不断的并购与联盟。
收购全球领先的准分子激光器厂商Cymer,为光源技术提供保障;收购电子束检测设备厂商汉微科,为先进工艺提供了晶圆缺陷检测技术支持;收购德国卡尔蔡司子公司24.9%股份,布局微影镜头关键技术;收购竞争对手Mapper的知识产权资产顺便接受优质人才……
芯片现原形,识别真伪,把握三个热点方向
发改委一句:芯片烂尾工程,谁支持,谁负责,一些芯片股就跌得稀里哗啦。其实问题不在这里,主要是实际上A股有很多芯片股是伪概念股,蹭热闹为主,干实事为辅,跌一下更健康。 市场已经开始新的炒作概念,最近eSIM技术应用概念火爆,实际上这就是针对物联网的
不仅如此,ASML还超越尼康,加入了EUV LLC联盟。
EUV LLC联盟的诞生也与光刻机光源波长193nm难题息息相关。
这是一家由英特尔攒局,美国能源部牵头,汇集了摩托罗拉、AMD、IBM,以及能源部下属劳伦斯利弗莫尔、桑迪亚和劳伦斯伯克利三大国家实验室的真正的高级玩家聚会。有多高级?其中三大国家实验室就堪称美国科技发展的幕后英雄,研究成果包括核武器、超级计算机、国家点火装置……覆盖物理、化学、制造业、半导体产业等各种前沿方向。
押注更激进的极紫外技术是EUV LLC联盟的目标,用仅有十几纳米的极紫外光,刻十纳米以下的芯片制程。
但EUV光刻机几乎集成了人类精密制造的技术极限,联盟必须从尼康和AMSL这两家当时发展最好的光刻机企业中,挑选一家进行吸纳,担忧吸取了精良技术的日本企业未来将压过美国,联盟最终选中了ASML。
由此,ASML获得了世界领先的半导体技术、材料学、光学以及精密制造等相关技术的优先使用资格。“单打独斗”行不通了,属于尼康的时代悄然过去,而汇集了资金、技术与人才,集制造业全体智慧精华于一身的,则被世界级先进的工业体系托举而出。
光刻巨人:ASML崛起之路
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除了科技 还有故事
既是荷兰半导体产业创新突围的结果,也是全球科技高度分工的结果,为大众所熟知的ASML企业史往往从以上两段开始,但罗马并非一日建成。讲成功史只从后半段风光史讲起的不免让人“干着急”,只能仰视崇拜,但却没法借鉴学习。
在ASML成立三个十年中,第三个十年,他登上山顶,藐视群雄;第二个十年,他狂甩对手,垄断市场;而第一个十年,因何决定去开启传奇,以及如何艰难爬坡,九死一生中,才真正隐藏着奠定胜利的绝密基因。
为什么要做光刻机?没人能想到伟大或许诞生于一次打赌。
ASML脱胎于大名鼎鼎的飞利浦公司,一次,有人前往美国考察,回来时带来一颗“芯片”,面对这颗来自美国的芯片,飞利浦人感到遗憾——错失了与世界先进技术同步发展的机会,他们下定决心“要放下一切工作,集中精力投入集成电路的技术研发”。
但一开始,飞利浦只投入到电路技术研发,并没打算自造光刻机,毕竟购买其他公司的成品光刻机足够可行方便。
不过伴随着芯片的更新,其他公司的成品设备既不够精准,也过于耗费人力。因此,飞利浦的半导体和材料部 Elcoma 的技术经理定期与前沿技术研发实验室Natlab 的领导时常聚在一起聊天,讨论这些难题。
再一次,当Natlab的研究人员“吹嘘”他们的静压轴承和气动技术时,Elcoma掩模中心的主任“刻薄”接茬,技术这么强,也并不能用来制造那些生产芯片的机器啊?Natlab听到后,自然是一顿争吵,但争吵之后,两个部门更达成约定——合作制造一台光刻机。
1967 年,研究人员就在公司内部的展览中展示了6 镜头重复曝光光刻机的原型,这台光刻机吸引了若干围观群众,连飞利浦的时任董事会成员都被吸引而来。但还没来得及听完主讲人的介绍,下一个展台又吸引了董事的注意——一台带有自动平衡系统的新型洗衣机。
和用来制造电脑芯片的复杂尖端设备相比,一款流水线上可以批量生产上万台的普通洗衣机,对飞利浦高管来说更有吸引力。
在很长一段时间内,光刻机项目都被飞利浦内部认定——没发展没前途。“放弃吧,别再烧钱了”是项目组同事最常听到的话。
但又是什么样的人在为彼时看起来“一片晦暗”的光刻机付出青春、汗水与智慧?
听起来也颇有传奇色彩:工程师克洛斯特曼小时候是位失读症患者,阅读和数学对他来说都是难题,但长大后,失读症奇迹般地痊愈;光学工程师梅耶,这是位足够幸运的男青年,经历过第二次世界大战,两次从斯维辛集中营逃脱。第一次被送入集中营时,因为运气好躲过一劫,第二次被送入时,因为擅长机械而被派去修理火车车厢,这还不算完。第一次即将被送进毒气室时,被德国纳粹漏掉,第二次又被及时赶到的苏联红军搭救。差一点成为胶、化肥或鞋油,病重、像铅笔那么瘦的梅耶返回荷兰,开始了一生的光刻机事业……
除此之外,光刻机的系统架构师范希克是位热衷于留披头士发型,觉得向领导做季度总结写两个句子以上都浪费时间的富二代;研发了一种精确度最高的对准技术的工程师布休斯一度没上过大学,在卖酒的商店洗过瓶子算过账,从被聘为飞利浦的一名助理,脚踏实地做到了顶尖工程师……
正是这些人在暗夜中前行,撑着如烛火一般微弱的光刻机项目,直到在一个恰当的时机,飞利浦遇到业内的另一位传奇人物,荷兰半导体设备开创者德尔·普拉多,1984年,ASML成立。
那么,究竟经过哪些博弈,飞利浦才与传奇大佬德尔·普拉多奠定合作?
这位号称不“做”生意,本人就是生意,靠魅力、野心和无畏经营公司的人为了获得飞利浦的关注,除了登报求关注,还如何奇招频出?
这样注定不凡的企业,首任首席执行官又是何等人物?这个永远不按常理出牌的人是如何领导着“奇奇怪怪”的员工们,在企业还是一堆烂摊子时就许下“我们一定要做第一名,不然就别做了”的flag?
但如此有领导力的管理者,为何离职时只收到所有员工“80块钱”的离职红包?
除此之外,ASML创业的前十年,是彻彻底底烧钱的十年,动不动需要一个亿美金,到哪去找投资?
在极度缺钱时,如何坚定信心,继续烧钱技术创新?
如何鼓舞士气,给员工“画饼”,招兵买马选择合适的人才,寻找客户、盟友以及政府的支持?
有一些出奇制胜的“创意”:分拆式研发,因地制宜式工作,以及智慧营销为产品赋能……
甚至,还有一些可以称为机遇的时刻,芯片市场的衰退乃至崩溃,为何造就了ASML的黄金喘息时间?甚至,客户的工厂被烧了,导致对方需要重新下单,新销量成了ASML的及时雨。
这些独家历史,如今首次披露。
95%未见于世的全新内容,人民邮电出版社新书《光刻巨人:ASML的崛起之路》将为你展现尚不为人所知的ASML故事。荷兰作者René Raaijmakers酝酿15年,采访写作7年,采访了ASML上到CEO下到工程师的100余位员工,写出世界上唯一一本详细记录ASML从飞利浦前身到成为行业之王的书。
是历史,更是未来。没有硝烟,但竞争无处不在。看不到眼泪,也听不到嘶吼,但较量无时无刻。芯片之困,如何在强者环伺中逆风翻盘?毕竟,谁掌握了芯片,拥有了进入下一个科技纪元的入场券。
他山之石可以攻玉。
无论你是芯片相关从业者、科技创业者、投资人还是关心科技行业及创业公司成长的读者,也许你想知道如何管理团队,凝聚合力;也许你想知道如何寻找投资,反败为胜;也许你想知道高科技企业如何保持创新,锻造领先技术;甚至你想知道,如何在一个看起来希望渺茫的竞赛中,获得第一名……阅读本书,都可以从ASML的企业经历找到心中答案。
但至少这样的经历足够给人信心,即使强者环伺,看起来毫无胜算,只要足够坚持,也可以乘风破浪,逆风翻盘。
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